淺談重慶特種氣體用途及應(yīng)用行業(yè)
2021-09-15
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重慶特種氣體,氣體工業(yè)名詞,是指對(duì)氣體有特殊要求的高純氣體、純氣體或由高純簡(jiǎn)單氣體制得,應(yīng)用于特定L領(lǐng)域的二元或多元混合氣體。重慶特種氣體種類(lèi)很多,通??梢苑譃闃?biāo)準(zhǔn)氣體、電子氣體、環(huán)保氣體、焊接氣體、醫(yī)用氣體、殺菌氣體等,廣泛應(yīng)用于石油化工、有色金屬冶煉、電力、電子、采礦、鋼鐵、熱能工程、環(huán)境監(jiān)測(cè)、生物化學(xué)、醫(yī)學(xué)研究和診斷、食品保鮮等領(lǐng)域。
有哪些重慶特種氣體?重慶特種氣體主要有:甲烷、正戊烷、乙烯、正丁烷、正丁烯、異丁烯、異戊烷、異丁烷、乙烷、一氧化氮、一氧化碳、一氟甲烷等。
重慶特種氣體有高純氣體、電子氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體三種,廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、醫(yī)療、化工、環(huán)保裝備制造等領(lǐng)域。到目前為止,重慶特種氣體中有260種單位純氣體。以下是一些常見(jiàn)的重慶特種氣體:
1、氮?dú)?N2,純度要求>99.999%,用于外延、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沉積、離子注入、等離子干蝕刻、光刻、退火、研磨、燒結(jié)等工藝,用作在線儀表標(biāo)準(zhǔn)氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、零點(diǎn)氣體和平衡氣體。在半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中,氮還用于食品包裝、電器和化學(xué)等行業(yè)。
2、氧氣-O2,>99.995%,用作標(biāo)準(zhǔn)氣體在線儀表的校準(zhǔn)氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體和零點(diǎn)氣體;也可用于半導(dǎo)體器件制造工藝中的熱氧化、擴(kuò)散、化學(xué)氣相沉積、等離子干法刻蝕等工藝,用于醫(yī)用氣體以及用于光纖的制備。
3、氬氣-Ar,>99.999,用于半導(dǎo)體器件制備過(guò)程中的晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、氮化、噴涂、等離子干法刻蝕、載流、退火、研磨、燒結(jié)等過(guò)程;用作標(biāo)準(zhǔn)氣體、零點(diǎn)氣體和平衡氣體;氫氣也用于工業(yè)氣體混合物和特殊氣體混合物。
4、氫氣-H2,>99.999%,用作零點(diǎn)氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、平衡氣體、校準(zhǔn)氣體和在線儀表標(biāo)準(zhǔn)氣體;它用于半導(dǎo)體器件制造過(guò)程,如晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢、離子注入、載流、燒結(jié)等,在化工、冶金等行業(yè)也很有用。
5、氦氣-He,>99.999%,用作零點(diǎn)氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、平衡氣體、校準(zhǔn)氣體和醫(yī)用氣體;半導(dǎo)體器件制備過(guò)程中的晶體生長(zhǎng)、等離子體干法刻蝕、載流等工藝;此外,還常用特種混合氣體和工業(yè)混合氣體。
重慶特種氣體是指在特定的L域中應(yīng)用的對(duì)純度、品種和性能有特殊要求的氣體。隨著科學(xué)研究、國(guó)防工業(yè)、自動(dòng)化技術(shù)和精密檢測(cè)(特別是微電子技術(shù))的發(fā)展,重慶特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、發(fā)光二極管、光纜等新興產(chǎn)業(yè),已成為工業(yè)氣體市場(chǎng)增長(zhǎng)的新動(dòng)力。